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斯坦福大學鮑哲南院士《AFM》綜述：教你如何設(shè)計壓力傳感器的微結(jié)構(gòu)
壓力傳感器在消費電子、醫(yī)療和機器人等領(lǐng)域的重要性已無需贅述。伴隨著電子皮膚等概念的飛速發(fā)展，更輕、更薄、可穿戴的壓力傳感器層出不窮?，F(xiàn)階段，科學家已經(jīng)在這一領(lǐng)域積累了大量的工程經(jīng)驗和理論基礎(chǔ)。當我們站在現(xiàn)在，展望將來的壓力傳感器發(fā)展路線時，我們最需要的是更成系統(tǒng)的設(shè)計理念，讓我們從“設(shè)計-制備-測試-再設(shè)計”的經(jīng)驗主義走向“理論預測/設(shè)計-制備-測試”的理性設(shè)計路線。 近日，斯坦福大學鮑哲南院士團隊針對壓力傳感器活性層的微結(jié)構(gòu)設(shè)計進行了綜述。針對四種最常見的壓力傳感器，即電容傳感器、電阻傳感器、…
